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Erschienen in:

03.10.2019

Thermal modelling and design of dynamically-controlled heater plates for high temperature processing of 300 mm wafers

verfasst von: Dae Seong Woo, Changwoon Han, Byeng Dong Youn, Kyoung Joon Kim

Erschienen in: Journal of Mechanical Science and Technology | Ausgabe 10/2019

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Metadaten
Titel
Thermal modelling and design of dynamically-controlled heater plates for high temperature processing of 300 mm wafers
verfasst von
Dae Seong Woo
Changwoon Han
Byeng Dong Youn
Kyoung Joon Kim
Publikationsdatum
03.10.2019
Verlag
Korean Society of Mechanical Engineers
Erschienen in
Journal of Mechanical Science and Technology / Ausgabe 10/2019
Print ISSN: 1738-494X
Elektronische ISSN: 1976-3824
DOI
https://doi.org/10.1007/s12206-019-0939-0

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