Skip to main content

2007 | OriginalPaper | Buchkapitel

Thin Body Effects to Suppress Random Dopant Fluctuations in Nano-Scaled MOSFETs

verfasst von : Y. Ashizawa, H. Oka

Erschienen in: Simulation of Semiconductor Processes and Devices 2007

Verlag: Springer Vienna

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

The intrinsic parameter fluctuations induced by random discrete dopants (RDD) in nano-scaled MOSFETs are studied by applying the quantum mechanical approach. The increase of effective oxide thickness (EOT) by the quantum mechanical corrections generally makes gate controllability worse. However, as far as ultra thin body (UTB) devices, the increase of EOT improves gate controllability by suppressing leakage current because it reduces electrical body thickness by the constraint of the physical body thickness.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 340 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Metadaten
Titel
Thin Body Effects to Suppress Random Dopant Fluctuations in Nano-Scaled MOSFETs
verfasst von
Y. Ashizawa
H. Oka
Copyright-Jahr
2007
Verlag
Springer Vienna
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-211-72861-1_22