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Erschienen in:
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2006 | OriginalPaper | Buchkapitel

Two-Dimensional Patterns in High Frequency Plasma Discharges

verfasst von : D. Mackey, M.M. Turner

Erschienen in: Progress in Industrial Mathematics at ECMI 2004

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Large area uniform plasmas are essential in microelectronics processing. Motivated by this application, a macroscopic model is proposed as a framework for investigating the occurrence of instabilities in high frequency plasma discharges for parallel plate geometries. This paper will concentrate on the formation of stationary, spatially inhomogeneous patterns.

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Metadaten
Titel
Two-Dimensional Patterns in High Frequency Plasma Discharges
verfasst von
D. Mackey
M.M. Turner
Copyright-Jahr
2006
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Progress in Industrial Mathematics at ECMI 2004

Print ISBN: 978-3-540-28072-9

Electronic ISBN: 978-3-540-28073-6

Copyright-Jahr: 2006

DOI
https://doi.org/10.1007/3-540-28073-1_92