Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.01.2015 | Technical Paper | Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015

Ultra-small micro pressure sensor chip design and fabrication featuring high-sensitivity and good-linearity

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 1/2015
Autoren:
B. R. Zheng, C. Zhou, Q. Wang, X. M. Pan, W. Xue

Abstract

Ultra-small micro pressure sensors are demanded in dynamic performance research of airplanes, missiles and other mechanical movements in aerodynamics. In this study, a novel two island-beam-diaphragm structural sensor chip is designed to improve the sensitivity and linearity simultaneously. Two islands are introduced into the back side of the chip to fulfill the requirement of stress concentration. The chip is fabricated with silicon micromachining technology and calibrated after packaging into a pressure sensor. The resulting sensors perform well. The sensitivity of the sensor is 1.60 mV/V/100 Pa, higher than the designed 1.48 mV/V/100 Pa. Nonlinearity values at 0.04 %FS and repeatability and hysteresis uncertainty value at 0.01 %FSO and 0.05 %FSO, respectively. The temperature coefficient of sensitivity and temperature coefficient of offset is −0.93 × 10−3/°C FSO and 0.86 × 10−3/°C FSO. The accuracy is 0.04 %FSO. Extremely high over-pressure capability is achieved due to the small island for over-range protection.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015 Zur Ausgabe