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Journal of Materials Science
Erschienen in: Journal of Materials Science 1/2011

01.01.2011

UV laser ablation of parylene films from gold substrates

verfasst von: O. R. Musaev, P. Scott, J. M. Wrobel, J. A. Wolf, M. B. Kruger

Erschienen in: Journal of Materials Science | Ausgabe 1/2011

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Abstract

Parylene coatings on gold substrates were removed by laser ablation using 248-nm light from an excimer laser. Each sample was processed by a different number of pulses in one of three environments: air at atmospheric pressure, nitrogen at atmospheric pressure, and vacuum. The laser-induced craters were analyzed by optical microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. Multi-pulse ablation thresholds of gold and parylene were determined.
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Metadaten
Titel
UV laser ablation of parylene films from gold substrates
verfasst von
O. R. Musaev
P. Scott
J. M. Wrobel
J. A. Wolf
M. B. Kruger
Publikationsdatum
01.01.2011
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science / Ausgabe 1/2011
Print ISSN: 0022-2461
Elektronische ISSN: 1573-4803
DOI
https://doi.org/10.1007/s10853-010-4906-5

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