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2005 | OriginalPaper | Buchkapitel

Verfahren der MEMS Fertigung

verfasst von : Dr.-Ing. Markus Glück

Erschienen in: MEMS in der Mikrosystemtechnik

Verlag: Vieweg+Teubner Verlag

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Teilweise nur Bruchteile von Millimetern groß sind die Strukturelemente der Mikrosystem- und MEMS-Technik Der technische Fortschritt der Mikrotechnologien, der insbesondere in den letzten 30 Jahren vor allem durch die Mikroelektronik erreicht wurde [27,53,62], hat es erstmals ermöglicht, miniaturisierte Systeme herzustellen, die in geeigneter Weise Bewegungen, Geräusche, Lichtreize, Geruchsstoffe und Farbveränderungen aufnehmen und sogar in der Lage sind, darauf in entsprechend geeigneter Weise zu reagieren.

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Metadaten
Titel
Verfahren der MEMS Fertigung
verfasst von
Dr.-Ing. Markus Glück
Copyright-Jahr
2005
Verlag
Vieweg+Teubner Verlag
Buch
MEMS in der Mikrosystemtechnik

Print ISBN: 978-3-519-00520-9

Electronic ISBN: 978-3-663-10778-1

Copyright-Jahr: 2005

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1_3

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