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Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 5-8/2012

01.09.2012 | ORIGINAL ARTICLE

Water-jet-assisted diamond disk dressing characteristics of CMP polishing pad

verfasst von: Ming-Yi Tsai, Wei-Zheng Yang

Erschienen in: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | Ausgabe 5-8/2012

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Metadaten
Titel
Water-jet-assisted diamond disk dressing characteristics of CMP polishing pad
verfasst von
Ming-Yi Tsai
Wei-Zheng Yang
Publikationsdatum
01.09.2012
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology / Ausgabe 5-8/2012
Print ISSN: 0268-3768
Elektronische ISSN: 1433-3015
DOI
https://doi.org/10.1007/s00170-011-3838-9

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