Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.05.2010 | Technical Paper | Ausgabe 5/2010

Microsystem Technologies 5/2010

What happens turning a 250-μm-thin piezo-stack sideways?

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 5/2010
Autoren:
Sandy Zaehringer, Norbert Schwesinger

Abstract

Usually when piezoelectric membrane actuators are mentioned, one classically thinks of a passive membrane with a piezoelectric actuator on top. In this paper omitting the passive membrane will be suggested. Therefore, the piezoelectric actuator will not be commonly designed as plate capacitor structure, such as that the piezoelectric material sitting between two plate electrodes. Rather will the actuation be caused by structured surface electrodes on only one side of the piezoelectric material, leaving the opposite side free of potential. Several surface electrode designs, starting with interdigital parallel structures, known from surface acoustic wave transducers, spiral and ring structures, ending with star-shaped structures, are tested. The main advantage of this actuation principle is that with the varying electrode design it became possible to also generate an upward movement, i.e., in the direction of electrode side of the membrane. This upward movement has not been achieved with any piezoelectric membrane actuator so far.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe​​​​​​​




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 5/2010

Microsystem Technologies 5/2010 Zur Ausgabe