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Erschienen in:
2017 | OriginalPaper | Buchkapitel
XPS - Röntgenphotoelektronenspektroskopie
verfasst von : Jürgen Bauch, Rüdiger Rosenkranz
Erschienen in: Physikalische Werkstoffdiagnostik
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
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Das physikalische Prinzip der XPS beruht auf dem äußeren photoelektrischen Effekt. Durch Bestrahlung der Probenoberfläche mit elektromagnetischen Wellen (hier monochromatischer Röntgenstrahl mit variabler Spotgröße), deren Energie größer als die Austrittsarbeit der Probe ist, werden Elektronen aus besetzten Anfangszuständen ins Vakuum emittiert und es entsteht ein ionisierter Endzustand. Aus oberflächennahen Bereichen der Probe werden diese Photoelektronen emittiert und energiedispersiv detektiert.