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JOT Journal für Oberflächentechnik
Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik 9/2011

01.09.2011 | Dünne Schichten

Atomic Layer Deposition

Kratz- und korrosionsfeste Beschichtungen auf komplexen 3D-Bauteilen

verfasst von: Dr. Bernd Szyszka, Hugo Tholense

Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Ausgabe 9/2011

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Auszug

Die Bauteilbeschichtung mit ALD (Atomic Layer Deposition) ist ein besonders leistungsfähiges CVD-Beschichtungsverfahren, das auch komplexeste 3D-Geometrien mit Hinterschneidungen oder Bohrungen defektarm beschichten kann. Die Methode ist reproduzierbar und äußerst präzise. Durch die Möglichkeit der parallelen Beschichtung bleiben die Kosten dennoch im Rahmen. …
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Literatur
[1] K. L. Choy, Chemical vapour deposition of coatings, Progress in Materials Science 48 (2003) 57
[2] M. Fryda et al., Fabrication and application of Diachem electrodes, Diamond and Related Materials 12 (2003) 1950
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[4] T. Bohr et al., The high-k solution, IEEE Spectrum Oct. 2007
[5] R. J. Tench et al., Characterization of defect geometries in multilayer optical coatings, JVST A 12 (1994) 2808
[6] M. Leskelä, Industrial Applications of Atomic Layer Deposition (ALD), Mikkeli International Industrial Coating Seminar (2010)
[7] J. Maula, Atomic layer deposition for industrial optical coatings, Chinese Optics Letters 8 (2010) 53
[8] J. Skarp, Industrial ALD equipment for PV, Proc. European Photovoltaic Solar Energy Conference Proceedings 25 (2010)
Metadaten
Titel
Atomic Layer Deposition
Kratz- und korrosionsfeste Beschichtungen auf komplexen 3D-Bauteilen
verfasst von
Dr. Bernd Szyszka
Hugo Tholense
Publikationsdatum
01.09.2011
Verlag
Vieweg Verlag
Erschienen in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Ausgabe 9/2011
Print ISSN: 0940-8789
Elektronische ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1365/s35144-011-0169-4

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