Dünnschichtsensor für hochaufgelöste Dickenmessung

Auszug

Mit dem Dünnschichtsensor FTR hat die Firma Fries Research & Technology jetzt ein optisches Dünnschichtreflektometer für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme auf den Markt gebracht. Das reflektometrische Verfahren zeichnet sich durch eine berührungslose, zerstörungsfreie Messung mit hoher Auflösung aus. Damit ist es besonders für den Einsatz an sensiblen Materialien der Halbleiter-, MEMS- und Solartechnik wie zum Beispiel Oxiden, Nitriden, Fotolack und anderen optisch transparenten Schichten geeignet. Messungen lassen sich in Kombination mit den Messgeräten des Herstellers wie etwa dem MicroProf 200 durchführen. Der Dünnschichtsensor arbeitet mit einer spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Die Schichtdickenmessung beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit der speziell für dieses Gerät entwickelten Software liefert Schichtdickeninformationen in Nanometerauflösung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und visualisiert. Zum Sensor gehört auch eine umfangreiche Datenbank mit den Brechungs- und Absorptionsindizes einer Vielzahl von Materialien. Für die automatisierte Messung (punktuell, Linienprofil oder 3D-Mapping) können Rezepte zusammengestellt werden. Das Gerät erreicht eine hohe Mess- und Wiederholgenauigkeit. …