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Erschienen in:
Oberflächentechnik — Anwendung und Gliederung Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2003 | OriginalPaper | Buchkapitel

Dünnschichttechnologie

verfasst von : Klaus-Peter Müller

Erschienen in: Praktische Oberflächentechnik

Verlag: Vieweg+Teubner Verlag

Enthalten in: Professional Book Archive

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Das Abscheiden dünner Schichten mit besonderen Eigenschaften kann auf zwei prinzipiell unterschiedlichen Wegen erfolgen, wobei die Grenzen zwischen beiden Verfahren fließend sind. Ein Weg zu dünnen Schichten besteht darin, daß man die chemische Schichtbildungsreaktion lokalisiert auf der Oberfläche des Werkstücks ablaufen läßt. Man nennt Verfahren dieser Art CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition).

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Metadaten
Titel
Dünnschichttechnologie
verfasst von
Klaus-Peter Müller
Copyright-Jahr
2003
Verlag
Vieweg+Teubner Verlag
Buch
Praktische Oberflächentechnik

Print ISBN: 978-3-322-91548-1

Electronic ISBN: 978-3-322-91547-4

Copyright-Jahr: 2003

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-322-91547-4_19