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JOT Journal für Oberflächentechnik
Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik 6/2018

01.06.2018 | Dünne Schichten

Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

verfasst von: Dr. Ralf Bandorf

Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Ausgabe 6/2018

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Auszug

Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Darüber hinaus weisen die Schichten ein hohes Potenzial als Sensorschicht in rauer Umgebung auf. Somit bieten sich sehr gute Alternativen für die Abscheidung hochwertiger glatter Schichten. …
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Metadaten
Titel
Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
verfasst von
Dr. Ralf Bandorf
Publikationsdatum
01.06.2018
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden
Erschienen in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Ausgabe 6/2018
Print ISSN: 0940-8789
Elektronische ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1007/s35144-018-0046-5

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