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Erschienen in:
2001 | OriginalPaper | Buchkapitel
Reinstproduktion am Beispiel elektronischer Halbleiterbauelemente
verfasst von : Engelbert Westkämper, Hans-Jürgen Warnecke
Erschienen in: Einführung in die Fertigungstechnik
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
Enthalten in: Professional Book Archive
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Mehr und mehr Industriebereiche, wie die Medizintechnik, die Feinmechanik, die Mikrosystemtechnik, die Pharmazie, die Lebensmittelindustrie oder die Halbleiterfertigung, benötigen bei der Herstellung ihrer Produkte reinste Fertigungs- und Umgebungsbedingungen. Dazu gehören beispielsweise der Reinraum, der die äußere Hülle der Fertigungsumgebung darstellt, die Hand-habungs- und Transportsysteme sowie die Medienver- und -entsorgungs-systeme, die zum Transport von Prozessmedien benötigt werden. Besonders hohe Reinheitsanforderungen werden dabei z.B. an die Raumluft,den Arbeitsplatz (Werkzeuge und Maschinen),die Prozessmedien (Gase, Chemikalien, Flüssigkeiten) unddas Personal gestellt.