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Erschienen in:
2020 | OriginalPaper | Buchkapitel
Strukturierte Oberflächen
verfasst von : Prof. (em.) Dr. rer. nat. Hansgeorg Hofmann, Prof. (em.) Dr.-Ing. habil. Jürgen Spindler
Erschienen in: Verfahren in der Beschichtungs- und Oberflächentechnik
Verlag: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG
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Für zahlreiche Erzeugnisse besteht das Erfordernis, ihre Oberflächen bzw. die darauf erzeugten Schichten zu strukturieren. Dabei liegen die Strukturgrößen oftmals bei mehreren Millimetern, die Strukturdetails im Bereich weniger Mikrometer, bei Anwendungen in der Halbleitertechnik und Mikrosystemtechnik sogar im Nanometerbereich. Die Übertragung der Strukturdetails vom Entwurf zur strukturierten Funktionsschicht beinhaltet als einen Hauptschritt die Fotolithografie. Dabei variieren die Möglichkeiten von der Resistdirektbelichtung über die Laserstrukturierung bis zur Verwendung von Metallmasken. Oft findet man als Argument für eine Entscheidungshilfe: Wo kein Film, dort auch keine Fehler; Wirtschaftlichkeits- und Ökologieabschätzungen sind weitere Größen.