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2016 | Buch

Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

verfasst von: Stephanus Büttgenbach

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Buchreihe : Technik im Fokus

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Über dieses Buch

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Inhaltsverzeichnis

Frontmatter
1. Einleitung
Stephanus Büttgenbach
2. Transistoren und Siliziumtechnologie
Stephanus Büttgenbach
3. Der piezoresistive Effekt
Stephanus Büttgenbach
4. Volumenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach
5. LIGA-Verfahren
Stephanus Büttgenbach
6. Oberflächenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach
7. Reaktives Ionentiefenätzen
Stephanus Büttgenbach
8. Softlithografie
Stephanus Büttgenbach
9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore
Stephanus Büttgenbach
10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung
Stephanus Büttgenbach
11. Mikro-Nano-Integration
Stephanus Büttgenbach
12. Ausblick
Stephanus Büttgenbach
Backmatter
Metadaten
Titel
Mikrosystemtechnik
verfasst von
Stephanus Büttgenbach
Copyright-Jahr
2016
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Electronic ISBN
978-3-662-49773-9
Print ISBN
978-3-662-49772-2
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.