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2016 | OriginalPaper | Buchkapitel

8. Softlithografie

verfasst von : Stephanus Büttgenbach

Erschienen in: Mikrosystemtechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Auszug

Die Softlithografie wurde Ende der 1990er‐Jahre von Y. Xia und G. M. Whitesides begründet [1]. Sie bezeichnet eine Gruppe von Verfahren, mit denen hochaufgelöste Strukturen in einem Größenbereich von etwa 30 nm bis 500 µm hergestellt werden können. Softlithografie erweitert die Möglichkeiten der Fotolithografie. Sie basiert auf Techniken, die eine Reliefstruktur aus elastischem, mechanisch weichem (englisch: mechanically soft) Material als Elastomer‐Werkzeug (Stempel oder Gussform) nutzen. Um die Reliefstrukturen herzustellen, wird eine Mutterform (Master) aus hartem Material, zum Beispiel SU‐8 oder Silizium, mit dem elastischen Material abgeformt. …

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Literatur
1.
Y. Xia, G.M. Whitesides, Softlithographie. Angewandte Chemie 110, 568–594 (1998)CrossRef
2.
J.C. McDonald, G.M. Whitesides, Poly(dimethylsiloxane) as a material for fabricating microfluidic devices. Accounts of Chemical Research 35, 491–499 (2002)CrossRef
3.
G.M. Whitesides, E. Ostuni, S. Takayama, X. Jiang, D.E. Ingber, Soft lithography in biology and biochemistry. Annual Review of Biomedical Engineering 3, 335–373 (2001)CrossRef
4.
N. Lucas, R. Franke, A. Hinze, C.-P. Klages, R. Frank, S. Büttgenbach, Microplasma stamps for the area-selective modification of polymer surfaces. Plasma Processes and Polymers 6, S370–S374 (2009)CrossRef
5.
R. Frank, Spot-synthesis: an easy technique for the positionally adressable, parallel chemical synthesis on a membrane support. Tetrahedron 48, 9217–9232 (1992)CrossRef
6.
T. Felgenhauer, V. Stadler, R. Bischoff, F. Breitling, Hochkomplexe Peptidarrays auf Mikrochips. BIOspektrum 14, 151–153 (2008)
Metadaten
Titel
Softlithografie
verfasst von
Stephanus Büttgenbach
Copyright-Jahr
2016
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Mikrosystemtechnik

Print ISBN: 978-3-662-49772-2

Electronic ISBN: 978-3-662-49773-9

Copyright-Jahr: 2016

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9_8

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