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Measurement Techniques

Published in:

01-08-2008 | Nanometrology

A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy

Authors: M. A. Danilova, V. B. Mityukhlyaev, Yu. A. Novikov, Yu. V. Ozerin, A. V. Rakov, P. A. Todua

Published in: Measurement Techniques | Issue 8/2008

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Title: A test object with a line width less than 10 nm for scanning electron microscopy
Authors: M. A. Danilova
V. B. Mityukhlyaev
Yu. A. Novikov
Yu. V. Ozerin
A. V. Rakov
P. A. Todua
Publication date: 01-08-2008
Publisher: Springer US
Published in: Measurement Techniques / Issue 8/2008
Print ISSN: 0543-1972
Electronic ISSN: 1573-8906
DOI: https://doi.org/10.1007/s11018-008-9135-9