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26-02-2014 | Automatisierung | Schwerpunkt | Article

Automatische Sichtprüfung mit Mikroskopen

Author: Dieter Beste

1:30 min reading time

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Inzwischen sind die Bauteile in der Mikroelektronik so winzig, dass ein Prozessor in einem Stecknadelkopf Platz findet. Das stellt hohe Ansprüche nicht nur an die Fertigung, sondern auch an die Qualitätssicherung in der Produktion.

„Die industrielle Bildverarbeitung ist angesichts steigender Anforderungen an Produktqualität und -dokumentation zu einer Schlüsseltechnologie geworden“, schreiben die Springer-Autoren Christian Demant, Bernd Streicher-Abel und Axel Springhoff in der Einleitung zu Ihrem Buch „Industrielle Bildverarbeitung“ und unterscheiden verschiedene Typen von Sichtprüfaufgaben:

  • Lageerkennung
  • Kennzeichnungsidentifikation
  • Form- und Maßprüfung bzw. Vermessung
  • Vollständigkeitsprüfung
  • Farbverarbeitung
  • Bild- und Objektvergleich
  • Oberflächeninspektion
  • 3D-Bildverarbeitung

Auf dem Gebiet der Oberflächeninspektion haben jetzt Forscher und Entwickler am Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung (IOSB) in Karlsruhe ein neues Kapitel aufgeschlagen. Aufgrund ihrer Erfahrungen in der automatisierten Bildauswertung für die Qualitätssicherung in der Produktion hatten sie die Idee, ihr Know-how aus der Sichtprüfung von Oberflächen auf die Bildwelt der Mikroskopie zu übertragen: Es entstand eine Demo- und Testumgebung für eine voll automatisierte Inspektion mit unterschiedlichen Mikroskopen.

Roboter wirkt als Operator

Bedient werden die Mikroskope von einem handelsüblichen sechsachsigen Industrieroboter. Er übergibt die Proben positionsgenau an die verschiedenen Mikroskope. In der Labor-Umgebung sind dies momentan ein Makroskop mit flexiblen Beleuchtungsmöglichkeiten, ein Weißlichtinterferometer / Konfokal Mikroskop, ein Forschungsmikroskop und ein 3D-rekonstruierendes Autofokus-System.

Für ihr so ausgestattetes, modular aufgebautes „MicroLab“ verwendeten die Forscher bewusst Standardkomponenten aus der Automatisierungstechnik, damit es als Gesamtsystem zur Inspektion, Analyse und Qualitätssicherung für eine Vielzahl von Objekten und Oberflächen eingesetzt werden kann. Auch eine Integration von ausgewählten Komponenten des MicroLab in bereits bestehende Sichtprüfsysteme lässt sich nach Angaben des Fraunhofer IOSB problemlos bewerkstelligen.

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Background information for this content

2011 | OriginalPaper | Chapter

Einleitung

Source:
Industrielle Bildverarbeitung

2011 | OriginalPaper | Chapter

Anwesenheitskontrolle

Source:
Industrielle Bildverarbeitung

2012 | OriginalPaper | Chapter

Optische Abbildung

Source:
Automatische Sichtprüfung

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