1. Historische Entwicklung

Die heutige Entwicklung elektronischer Bauelemente stellt ein Rennen um immer schmalere Strukturdimensionen dar. Im Bewusstsein vieler Menschen befinden wir uns mitten im Zeitalter der Mikrotechnologie, ein Ausdruck, der von den Dimensionen (1 μm) der aktiven Bereiche eines Bauelementes abgeleitet ist, z. B. der Kanallänge eines Feldeffekttransistors oder der Dicke des Gate-Dielektrikums. Jedoch gibt es mehr und mehr Anzeichen dafür, dass diese Ära langsam durch eine andere ersetzt wird, durch die der Nanotechnologie. Der Ausdruck „Nanotechnologie“ ist wieder von den typischen geometrischen Dimensionen eines elektronischen Bauelementes abgeleitet, nämlich vom Nanometer, der ein Milliardstel (10⁻⁹) eines Meters darstellt. 30.000 nm sind ungefähr gleich der Dicke eines menschlichen Haares. Es ist durchaus wert, diese Zahl mit den Ausmaßen der frühen elektrischen Maschinen zu vergleichen, sagen wir mit einem Motor oder einem Telefon mit den typischen Maßen von 10 cm. Ein Beispiel dieser Entwicklung ist in Abb. 1.1 zu sehen.