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Chinese Journal of Mechanical Engineering

Published in:

01-05-2014

Impact of heat shield structure in the growth process of Czochralski silicon derived from numerical simulation

Authors: Jing Zhang, Ding Liu, Yue Zhao, Shangbin Jiao

Published in: Chinese Journal of Mechanical Engineering | Issue 3/2014

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Title: Impact of heat shield structure in the growth process of Czochralski silicon derived from numerical simulation
Authors: Jing Zhang
Ding Liu
Yue Zhao
Shangbin Jiao
Publication date: 01-05-2014
Publisher: Chinese Mechanical Engineering Society
Published in: Chinese Journal of Mechanical Engineering / Issue 3/2014
Print ISSN: 1000-9345
Electronic ISSN: 2192-8258
DOI: https://doi.org/10.3901/CJME.2014.03.504

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