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Published in:

01-08-2018 | Physics of Nanostructures

Influence of Annealing Temperature on the Microstructure and Morphology of TiN Films Synthesized by Dual Magnetron Sputtering

Authors: S. V. Zaitsev, V. S. Vashchilin, D. S. Prokhorenkov, M. V. Limarenko, E. I. Evtushenko

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Title: Influence of Annealing Temperature on the Microstructure and Morphology of TiN Films Synthesized by Dual Magnetron Sputtering
Authors: S. V. Zaitsev
V. S. Vashchilin
D. S. Prokhorenkov
M. V. Limarenko
E. I. Evtushenko
Publication date: 01-08-2018
Publisher: Pleiades Publishing
Published in: Technical Physics / Issue 8/2018
Print ISSN: 1063-7842
Electronic ISSN: 1090-6525
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218080236

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