Einblick in ein gepacktes, hybrides Inertialsensorsystem, welches in einer Steuergeräteeinheit als IC verbaut wird.
Robert Bosch GmbH
'Micro-Electro-Mechanical'-Systeme (MEMS) weisen mittlerweile eine sehr hohe Integrationsdichte auf. Damit können Ingenieure ein System mit hoher Funktionsvielfalt entwickeln und mit nur einem Sensor verschiedene Parameter erfassen.
Moderne 'Micro-Electro-Mechanical'-Systeme (MEMS) weisen mittlerweile eine derart hohe Integrationdichte auf, dass Entwickler komplexer elektronischer Systeme mehrere Funktionen damit abbilden können. So werden Mikromechanische Beschleunigungssensoren der fünften Generation unter anderem in Airbagsteuergeräte verbaut. Dort können Entwickler beispielsweise den beiden Sensierachsen unabhängig voneinander einen von vier Messbereichen zuweisen.
Trotz der höheren Funktionsvielfalt und eines empfindlicheren Messbereichs - Bewegungen der Karosserie in vertikaler Richtung beziehungsweise die Vertikalbeschleunigungen der Räder können mit ±1,6 g erfasst werden - fallen moderne MEMS-Sensoren dank neuer Fertigungsprozesse um bis zu 40 Prozent kompakter aus.
MEMS-Sensoren für sichere Fahrwerkregelung
Damit eignen sich MEMS-Sensoren auch für elektronisch gesteuerter Fahrwerke. Automobilentwickler halten es für möglich, dass bereits drei dieser Sensoren genügen, um die Beschleunigung der Karosserie sowie Nick- und Rollbewegungen zu erfassen. Die Signale werden dann mit Hilfe eines Steuergeräts analysiert und entsprechend die Einstellung der Stoßdämpfer angepasst – etwa in Abhängigkeit der Fahrbahnbeschaffenheit.
Mit der Weiterentwicklung Mikromechanischer Halbleiterbausteine erwarten Experten die Integration verschiedener Sensorelemente auf einem Baustein. So könnte eine Kombination aus Beschleunigungs- und Drehratenmessung möglich sein.