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Geschichte der Vakuumtechnik Read chapter Read first chapter

2018 | OriginalPaper | Chapter

19. Molekular- und Turbomolekularpumpen

Author : Karl Jousten

Published in: Handbuch Vakuumtechnik

Publisher: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Zusammenfassung

In diesem Kapitel werden die in der Hochvakuumtechnik sehr bedeutsamen Molekularpumpen vorgestellt. Den Schwerpunkt bildet aufgrund der Marktdurchdringung und Anwendungsbreite die turbomolekulare Bauart. Einer Darstellung der physikalischen Grundlagen folgt die Beschreibung des technischen Aufbaues. Hinweise zu Kenngrößen, Betrieb und Anwendungen der Pumpen schließen das Kapitel ab.

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Literature
1.
DIN 28400: Teil 2, Vakuumtechnik Benennungen und Definitionen. Beuth Verlag, Berlin (1980)
2.
Becker, W.: Eine neue MolekularpumpeVakuum-Technik 7, 149–152 (1958)
3.
4.
Bijker, M.D., Bosch, R.C.M., Conrad, A.: Aspects of fast load lock designs in vacuum manufacturing equipment. J. Vac. Sci. Technol. A 29(1), 011010 (2011)CrossRef
5.
Shirinov, A.: Hochvakuumpumpe gegen Atmosphäre. Vak. Forsch. Prax. 22, 10–14 (2010)CrossRef
6.
Chew, A.D.: EPX – die Ein-Pumpen-Lösung. Vak. Forsch. Prax. 20(6), 6–11 (2008)CrossRef
7.
Chew, A., et al.: Improvements in the performance of turbomolecular pumps. Vak. Forsch. Prax. 23(3), 14–18 (2011)CrossRef
8.
Holweck, F.: Helicoidal molecular pump. Acad, C.R. Science. Paris 177, 43 (1923)
9.
Sharipov, F., Fahrenbach, P., Zipp, A.: Numerical modelling of Holweck pump. J. Vac. Sci. Technol. A 23, 1331–1329 (2005)CrossRef
10.
Boulon, O., Mathes, R.: Flow modelling of a Holweck pump stage in the viscous regime. Vacuum 60, 73–83 (2001)CrossRef
11.
Siegbahn, M.: A new design for a high vacuum pump Arch. Math. Astr. Fys. 30B (1943)
12.
Giors, S., Campagna, L., Emelli, E.: New spiral molecular drag stage design for high compression ratio, compact turbomolecular-drag pumps. J. Vac. Sci. Technol. A 28(4), 931–936 (2010)CrossRef
13.
Der Abschn. 19.3 entstand unter Mitwirkung von Nigel Schofield, Edwards company, UK
14.
Chew, A.D., Galtry, M., Livesey, R.G., Stones, I.: Towards the single pump solution: recent development in high speed machines for dry vacuum pumping. J. Vac. Sci. Technol. A23, 1314 (2005)CrossRef
15.
Sixsmith, H., Altmann, H.: A Regenerative Compressor, J. Eng. Ind. 637–647 (1977)
16.
Knudsen, M.: Das Cosinusgesetz in der kinetischen Gastheorie. Ann. Phys. 48, 1113–1121 (1915)
17.
Edelmann, V.: Grundlagen, Vakuumerzeugung und -messung, Anwendungen. Spektrum, Akad. Verl, Heidelberg (1998)
18.
Bernhardt, K.H.: Calculation of the pumping speed of turbomolecular vacuum pumps by means of simple mechanical data J. Vac. Sci. Technol. A1(2), 136–139 (1983)
19.
Kruger, C.H.: The axial-flow compressor in the free-molecular range. Naval Res. Rep. Contr. Nonr. 1841(55) (1960)
20.
Maulbetsch, J.S., Shapiro, A.H.: Free-Molecule Flow in the Axial-Flow Turbo-Vacuum Pump. Final Report, Office of Naval Research Contract Nonr-1841(55), March 1963
21.
Bird, G.A.: Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows, Bd. 2. Oxford Science Publications, New York (1994)
22.
Alexander, F.J., Garcia, A.L.: The direct simulation Monte Carlo method. Comput Phys 11(6), 588–593 (1997)CrossRef
23.
Bird, G.A.: Effect of inlet guide vanes and sharp blades on the performance of a turbomolecular pump. J. Vac. Sci. Technol. A 29(1), 011016-1–011016-6 (2011)CrossRef
24.
Aluminium Taschenbuch, Bd. 1. Grundlagen und Werkstoffe, 152 ff. Aluminium-Verlag, Düsseldorf (1998)
25.
Cerruti, R., Spagnol, M., Helmer, J.C.: Power dissipation in turbmolecular pumps at high pressure. J. Vac. Sci. Technol. A 17(5), 3096–3102 (1999)CrossRef
26.
VDI-Wärmeatlas: Berechnungsblätter für den Wärmeübergang, Verein Deutscher Ingenieure. Springer (1997)
27.
Blumenthal, R., Hillegas, S., Kalisch, D., Kuhn, M., Latam, C.: Vacuum requirements for advanced deposition processes, NanoS. Nanotech. J. 1, 28–32 (2005)
28.
Froitzheim, M., Heppekusen, J.: Erweiterter Einsatz von Turbomolekular Vakuumpumpen durch Beschichtungen. Vak. Forsch. Prax. 20(3), 20–28 (2008)CrossRef
29.
Sharipov, F., Bertoldo, G.: Heat transfer trough a rarefied gas confined between two coaxial cylinders with high radius ratio. J. Vac. Sci. Technol. A 24(6), 2087–2093 (2006)CrossRef
30.
Anforderungen an die Auswuchtgüte starrer Rotoren, Deutsche Norm DIN ISO 1940-1-03 (1940)
31.
Produktinformation 5.429d, Firmenschrift: Klüber Lubrication München (Ausgabe 05.2000) (2000)
32.
GfT-Arbeitsblatt 3, Wälzlagerschmierung. Gesellschaft für Tribologie e.V., Moers (1993).
33.
Marinescu, M.: Dauermagnetische Radiallager. Firmenschrift: Marinescu Ing.-Büro für Magnettechnik, Frankfurt a. M. (1982)
34.
Schweitzer, G., Bleuler, H., Traxler, A.: Active magnetic bearings. Hochschulverlag AG an der ETH, Zürich (1994)
35.
Conrad, A., Ganschow, O.: The impact of analytical instrument technology to vacuum pumping systems. Vacuum 47, 575–672 (1996)CrossRef
36.
Conrad, A., Ganschow, O.: Vakuumpumpsystem, Deutsches Patent DE DE4331589 A1, 30 Juni 1994
Metadata
Title
Molekular- und Turbomolekularpumpen
Author
Karl Jousten
Copyright Year
2018
Book
Handbuch Vakuumtechnik

Print ISBN: 978-3-658-13385-6

Electronic ISBN: 978-3-658-13386-3

Copyright Year: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-13386-3_21

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