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Published in: Semiconductors 1/2016

01-01-2016 | Surfaces, Interfaces, and Thin Films

Morphological stability of the atomically clean surface of silicon (100) crystals after microwave plasma-chemical processing

Authors: R. K. Yafarov, V. Ya. Shanygin

Published in: Semiconductors | Issue 1/2016

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Metadata
Title
Morphological stability of the atomically clean surface of silicon (100) crystals after microwave plasma-chemical processing
Authors
R. K. Yafarov
V. Ya. Shanygin
Publication date
01-01-2016
Publisher
Pleiades Publishing
Published in
Semiconductors / Issue 1/2016
Print ISSN: 1063-7826
Electronic ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S106378261601022X

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