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Published in:

01-12-2006 | 1. Informatics: Dielectrics, Ferroelectrics, and Piezoelectrics

Resonance properties and mass sensitivity of monolithic microcantilever sensors actuated by piezoelectric PZT thick film

Authors: Jae Hong Park, Tae Yun Kwon, Hyung Joon Kim, Seung Rae Kim, Dae Sung Yoon, Chae-Il Cheon, Hwan Kim, Tae Song Kim

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Title: Resonance properties and mass sensitivity of monolithic microcantilever sensors actuated by piezoelectric PZT thick film
Authors: Jae Hong Park
Tae Yun Kwon
Hyung Joon Kim
Seung Rae Kim
Dae Sung Yoon
Chae-Il Cheon
Hwan Kim
Tae Song Kim
Publication date: 01-12-2006
Publisher: Kluwer Academic Publishers
Published in: Journal of Electroceramics / Issue 2-4/2006
Print ISSN: 1385-3449
Electronic ISSN: 1573-8663
DOI: https://doi.org/10.1007/s10832-006-6290-8