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Published in:

01-06-2015 | Experimental Instruments and Technique

Sensitive elements of vacuum sensors based on porous nanostructured SiO₂-SnO₂ sol-gel films

Authors: I. A. Averin, S. E. Igoshina, V. A. Moshnikov, A. A. Karmanov, I. A. Pronin, E. I. Terukov

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Title: Sensitive elements of vacuum sensors based on porous nanostructured SiO2-SnO2 sol-gel films
Authors: I. A. Averin
S. E. Igoshina
V. A. Moshnikov
A. A. Karmanov
I. A. Pronin
E. I. Terukov
Publication date: 01-06-2015
Publisher: Pleiades Publishing
Published in: Technical Physics / Issue 6/2015
Print ISSN: 1063-7842
Electronic ISSN: 1090-6525
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378421506002X

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