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Published in:
2005 | OriginalPaper | Chapter
Temperatursensoren
Author : Dr.-Ing. Markus Glück
Published in: MEMS in der Mikrosystemtechnik
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
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Das Interesse an der Messung der Temperatur ist Jahrhunderte alt. Die Anfänge gehen bis in das 16. Jahrhundert unserer Zeitrechnung zurück. 1592 schuf Galileo Galilei das erste physikalische Thermometer; ein einseitig abgeschlossenes Glasrohr, das man mit seinem offenen Ende in ein mit Wasser oder Weingeist gefülltes Gefäß tauchte.