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Published in:
2000 | OriginalPaper | Chapter
Einführung
Author : Prof. Dr.-Ing. Manfred Kasper
Published in: Mikrosystementwurf
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Included in: Professional Book Archive
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Die Mikrosystemtechnik ist eine junge Disziplin, von der erwartet wird, daß sie ähnlich der Mikroelektronik neue technische Anwendungsmöglichkeiten eröffnet und damit wesentliche Bereiche des täglichen Lebens beeinflussen wird.