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Published in: Experimental Mechanics 1/2007

01-02-2007

Elastic Properties and Representative Volume Element of Polycrystalline Silicon for MEMS

Authors: S. W. Cho, I. Chasiotis

Published in: Experimental Mechanics | Issue 1/2007

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Metadata
Title
Elastic Properties and Representative Volume Element of Polycrystalline Silicon for MEMS
Authors
S. W. Cho
I. Chasiotis
Publication date
01-02-2007
Publisher
Kluwer Academic Publishers
Published in
Experimental Mechanics / Issue 1/2007
Print ISSN: 0014-4851
Electronic ISSN: 1741-2765
DOI
https://doi.org/10.1007/s11340-006-0405-7

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