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2018 | OriginalPaper | Chapter

22. Electron Backscatter Diffraction

Author : Rika Yoda

Published in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Publisher: Springer Singapore

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Abstract

Electron backscatter diffraction patterns (EBSD patterns) can be used to determine the orientation of the crystal lattice. Principle of EBSD pattern is similar to Kikuchi pattern observed in transmission electron microscope (TEM). In the case of scanning electron microscope (SEM), when an electron beam enters a highly tilted crystalline material, it is inelastically scattered in all directions.

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Literature
1.
go back to reference ISO 24173 Microbeam analysis—Guideline for orientation measurement using electron backscatter diffraction (2009) ISO 24173 Microbeam analysis—Guideline for orientation measurement using electron backscatter diffraction (2009)
3.
Metadata
Title
Electron Backscatter Diffraction
Author
Rika Yoda
Copyright Year
2018
Publisher
Springer Singapore
DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_22

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