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Erschienen in:
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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

22. Electron Backscatter Diffraction

verfasst von : Rika Yoda

Erschienen in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

Electron backscatter diffraction patterns (EBSD patterns) can be used to determine the orientation of the crystal lattice. Principle of EBSD pattern is similar to Kikuchi pattern observed in transmission electron microscope (TEM). In the case of scanning electron microscope (SEM), when an electron beam enters a highly tilted crystalline material, it is inelastically scattered in all directions.

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Literatur
1.
ISO 24173 Microbeam analysis—Guideline for orientation measurement using electron backscatter diffraction (2009)
2.
3.
Oxford Instruments CHANNEL 5 manual (2009)
Metadaten
Titel
Electron Backscatter Diffraction
verfasst von
Rika Yoda
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
Buch
Compendium of Surface and Interface Analysis

Print ISBN: 978-981-10-6155-4

Electronic ISBN: 978-981-10-6156-1

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_22

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