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Published in:

01-11-2014

Fabrication of Relaxer-Based Piezoelectric Energy Harvesters Using a Sacrificial Poly-Si Seeding Layer

Authors: E. M. A. Fuentes-Fernandez, A. M. Salomon-Preciado, B. E. Gnade, M. A. Quevedo-Lopez, P. Shah, H. N. Alshareef

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Title: Fabrication of Relaxer-Based Piezoelectric Energy Harvesters Using a Sacrificial Poly-Si Seeding Layer
Authors: E. M. A. Fuentes-Fernandez
A. M. Salomon-Preciado
B. E. Gnade
M. A. Quevedo-Lopez
P. Shah
H. N. Alshareef
Publication date: 01-11-2014
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 11/2014
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-014-3308-x