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Published in:

01-11-2008

Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching

Authors: QingZhao Zhang, ChangQing Xie, Ming Liu, Bing Li, BaoQin Chen, XiaoLi Zhu

Published in: Science China Technological Sciences | Issue 11/2008

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Title: Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching
Authors: QingZhao Zhang
ChangQing Xie
Ming Liu
Bing Li
BaoQin Chen
XiaoLi Zhu
Publication date: 01-11-2008
Publisher: SP Science in China Press
Published in: Science China Technological Sciences / Issue 11/2008
Print ISSN: 1674-7321
Electronic ISSN: 1869-1900
DOI: https://doi.org/10.1007/s11431-008-0134-5

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