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JOT Journal für Oberflächentechnik
Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik 4/2011

01-04-2011 | Dünne Schichten

Megawatt-Impulse für bessere Schichten

Innovative Generatoren für die HIPIMS-Hartstoffbeschichtung

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Issue 4/2011

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Auszug

Mittels Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern aufgebrachte Hartstoffschichten zeichnen sich durch eine hohe Dichte und sehr gute Haftung auf den Trägermaterialien aus. Speziell für dieses Beschichtungsverfahren entwickelte Generatoren tragen dazu bei, dass das Potenzial des Verfahrens optimal ausgeschöpft werden kann. …
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Metadata
Title
Megawatt-Impulse für bessere Schichten
Innovative Generatoren für die HIPIMS-Hartstoffbeschichtung
Publication date
01-04-2011
Publisher
Vieweg Verlag
Published in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Issue 4/2011
Print ISSN: 0940-8789
Electronic ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1365/s35144-011-0063-0

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