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Published in:

02-03-2016

Preparation of Ca-Si Films on (001) Al₂O₃ Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties

Authors: Mutsuo Uehara, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo

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Title: Preparation of Ca-Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties
Authors: Mutsuo Uehara
Kensuke Akiyama
Takao Shimizu
Masaaki Matsushima
Hiroshi Uchida
Yoshisato Kimura
Hiroshi Funakubo
Publication date: 02-03-2016
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 6/2016
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-016-4404-x