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Published in:

01-09-2012 | Optics, Quantum Electronics

Quick ellipsometric technique for determining the thicknesses and optical constant profiles of Fe/SiO₂/Si(100) nanostructures during growth

Authors: I. A. Tarasov, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov, S. G. Ovchinnikov, S. M. Zharkov, V. A. Shvets, S. G. Bondarenko, O. E. Tereshchenko

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Title: Quick ellipsometric technique for determining the thicknesses and optical constant profiles of Fe/SiO2/Si(100) nanostructures during growth
Authors: I. A. Tarasov
N. N. Kosyrev
S. N. Varnakov
S. G. Ovchinnikov
S. M. Zharkov
V. A. Shvets
S. G. Bondarenko
O. E. Tereshchenko
Publication date: 01-09-2012
Publisher: SP MAIK Nauka/Interperiodica
Published in: Technical Physics / Issue 9/2012
Print ISSN: 1063-7842
Electronic ISSN: 1090-6525
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784212090241

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