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Journal of Electronic Materials

Published in:

15-03-2017

Study of Line-Space Pitch Multiplication Using Graphoepitaxy Directed Self-Assembly for Semiconductor Applications

Authors: Shijie Wang, Wei Deng, Yong Ann Seow, Bing Chen, Qun Ying Lin

Published in: Journal of Electronic Materials | Issue 7/2017

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Title: Study of Line-Space Pitch Multiplication Using Graphoepitaxy Directed Self-Assembly for Semiconductor Applications
Authors: Shijie Wang
Wei Deng
Yong Ann Seow
Bing Chen
Qun Ying Lin
Publication date: 15-03-2017
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 7/2017
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-017-5431-y