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Microsystem Technologies

Published in:

01-09-2003

A surface micromachining process for suspended RF-MEMS applications using porous silicon

Authors: Y. Ding, Z. Liu, L. Liu, Z. Li

Published in: Microsystem Technologies | Issue 6-7/2003

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Title: A surface micromachining process for suspended RF-MEMS applications using porous silicon
Authors: Y. Ding
Z. Liu
L. Liu
Z. Li
Publication date: 01-09-2003
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Microsystem Technologies / Issue 6-7/2003
Print ISSN: 0946-7076
Electronic ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-002-0266-7