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Published in:

01-01-2003

Chemical mechanical polishing as a toolbox for thin film magnetic head manufacturing

Authors: H. van Heeren, T. Bertens, F. Pronk, K. Attenborough

Published in: Microsystem Technologies | Issue 3/2003

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Title: Chemical mechanical polishing as a toolbox for thin film magnetic head manufacturing
Authors: H. van Heeren
T. Bertens
F. Pronk
K. Attenborough
Publication date: 01-01-2003
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Microsystem Technologies / Issue 3/2003
Print ISSN: 0946-7076
Electronic ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-002-0104-y