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Journal of Electronic Materials

Published in:

22-02-2018

Effects of O₂ Partial Pressure on Composition and Infrared Emissivity of PtO_x Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

Authors: Wenbo Kang, Dongmei Zhu, Zhibin Huang, Fa Luo

Published in: Journal of Electronic Materials | Issue 5/2018

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Title: Effects of O2 Partial Pressure on Composition and Infrared Emissivity of PtO x Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering
Authors: Wenbo Kang
Dongmei Zhu
Zhibin Huang
Fa Luo
Publication date: 22-02-2018
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 5/2018
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-018-6128-6