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Published in:

20-10-2016

Effects of Substrate and Post-Growth Treatments on the Microstructure and Properties of ZnO Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

Authors: Micah Haseman, P. Saadatkia, D. J. Winarski, F. A. Selim, K. D. Leedy, S. Tetlak, D. C. Look, W. Anwand, A. Wagner

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Title: Effects of Substrate and Post-Growth Treatments on the Microstructure and Properties of ZnO Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
Authors: Micah Haseman
P. Saadatkia
D. J. Winarski
F. A. Selim
K. D. Leedy
S. Tetlak
D. C. Look
W. Anwand
A. Wagner
Publication date: 20-10-2016
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 12/2016
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-016-5025-0