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Published in:

21-10-2016

Growth and Implementation of Carbon-Doped AlGaN Layers for Enhancement-Mode HEMTs on 200 mm Si Substrates

Authors: Jie Su, Niels Posthuma, Dirk Wellekens, Yoga N. Saripalli, Stefaan Decoutere, Ronald Arif, George D. Papasouliotis

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Title: Growth and Implementation of Carbon-Doped AlGaN Layers for Enhancement-Mode HEMTs on 200 mm Si Substrates
Authors: Jie Su
Niels Posthuma
Dirk Wellekens
Yoga N. Saripalli
Stefaan Decoutere
Ronald Arif
George D. Papasouliotis
Publication date: 21-10-2016
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 12/2016
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-016-5029-9