Fertigungsgerechter Entwurf

Genaue Simulationsergebnisse erfordern eine Beziehung zwischen dem angewendeten Transistormodell und der eingesetzten Technologie, da es perfekte Modelle nicht gibt bzw. genaue Modelle zu komplex und damit zu rechenintensiv sind. Zur Anpassung der Modellparameter an einen Prozeß werden deshalb auf den Wafern Testschaltungen eingesteppt, an denen sich transistor- und prozeßspezifische Parameter messen lassen. Außerdem werden zur Überwachung der Fertigung die Prozeßparameter mittels Testschaltungen in der laufenden Produktion gemessen.