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Published in:

01-06-2006

Hybrid deposition of piezoelectric \((11\bar 20)\) Mg_xZn_1−xO (0≤x≤0.3) on \((01\bar 12)\) R-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVDR-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVD

Authors: Gaurav Saraf, Ying Chen, Theo Siegrist, Leszek S. Wielunski, Yicheng Lu

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Title: Hybrid deposition of piezoelectric MgxZn1−xO (0≤x≤0.3) on R-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVDR-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVD
Authors: Gaurav Saraf
Ying Chen
Theo Siegrist
Leszek S. Wielunski
Yicheng Lu
Publication date: 01-06-2006
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 6/2006
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-006-0259-x