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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 6/2006

01.06.2006

Hybrid deposition of piezoelectric \((11\bar 20)\) MgxZn1−xO (0≤x≤0.3) on \((01\bar 12)\) R-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVDR-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVD

verfasst von: Gaurav Saraf, Ying Chen, Theo Siegrist, Leszek S. Wielunski, Yicheng Lu

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 6/2006

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Metadaten
Titel
Hybrid deposition of piezoelectric MgxZn1−xO (0≤x≤0.3) on R-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVDR-sapphire substrates using RF sputtering and MOCVD
verfasst von
Gaurav Saraf
Ying Chen
Theo Siegrist
Leszek S. Wielunski
Yicheng Lu
Publikationsdatum
01.06.2006
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 6/2006
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-006-0259-x

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