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Published in:

01-04-2005

MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany

Authors: L. Hahn, P. Meyer, K. Bade, H. Hein, J. Schulz, B. Löchel, H.U. Scheunemann, D. Schondelmaier, L. Singleton

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Title: MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany
Authors: L. Hahn
P. Meyer
K. Bade
H. Hein
J. Schulz
B. Löchel
H.U. Scheunemann
D. Schondelmaier
L. Singleton
Publication date: 01-04-2005
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Microsystem Technologies / Issue 4-5/2005
Print ISSN: 0946-7076
Electronic ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-004-0368-5