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01-11-2001 | Special Issue Paper

On the suitability of getter-purified hydrogen for the LP-MOVPE of (AlGa)As: A comparison to Pd-diffused hydrogen

Authors: H. Hardtdegen, r. Schmidt, K. Wirtz, A. Mueck, S. Guadagnuolo, G. Vergani

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Title: On the suitability of getter-purified hydrogen for the LP-MOVPE of (AlGa)As: A comparison to Pd-diffused hydrogen
Authors: H. Hardtdegen
r. Schmidt
K. Wirtz
A. Mueck
S. Guadagnuolo
G. Vergani
Publication date: 01-11-2001
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 11/2001
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-001-0190-0