Plasmen in der Oberflächentechnologie

Ein Plasma ist ein quasineutrales Gemisch aus freien Elektronen, Ionen und Neutralteilchen eines Gases, die sich untereinander in ständiger Wechselwirkung befinden. Plasmen in Gasen und Dämpfen bei niedrigen Drücken (p < 100 Pa = 1 mbar), d. h. nichtthermische Plasmen, spielen wegen ihrer Wechselwirkungen mit Festkörperoberflächen bei folgenden Beschichtungsprozessen eine Rolle: Sputtern, Ionenplattieren, aktivierte reaktive Bedampfung, plasma-aktivierter CVD-Prozeß, plasma-aktiviertes Ätzen und Plasmapolymerisation. Plasmen bei höheren Drücken (p > 104 Pa = 0,1 bar), d.h. thermische Plasmen, werden bei thermischen Spritzverfahren und dem Auftragschweißen als Wärmequelle eingesetzt. Darstellungen über Plasmaphysik liegen in [4.1–4.7] vor.