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Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik Read chapter Read first chapter

2018 | OriginalPaper | Chapter

6. Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma

Author : Manfred Renz

Published in: Reinraumtechnik

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Zu den reinraumtechnischen Anlagen zählen insbesondere alle Systeme zur Luftaufbereitung und -förderung, wie
• Außenluftsysteme,
• Umluftsysteme,
• Fortluftsysteme.

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Footnotes
1
Wertvolle Anregungen und Unterstützung bei der Gestaltung dieses Abschnitts durch M. Aust, M+W Central Europe GmbH Stuttgart
 
Literature
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[11]
[12]
Metadata
Title
Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma
Author
Manfred Renz
Copyright Year
2018
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Book
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright Year: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_6

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